【摘 要】
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激光焦点位置检测与跟踪技术是激光加工的关键技术之一，本文讨论了激光切割加工系统中焦点位置误差的产生和常用的两种检测系统的组成原理及其使用中的优缺点，分析了切割过程中
【机 构】
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激光焦点位置检测与跟踪技术是激光加工的关键技术之一，本文讨论了激光切割加工系统中焦点位置误差的产生和常用的两种检测系统的组成原理及其使用中的优缺点，分析了切割过程中等离子云对电容传感器的干扰机理，进而提出了两种有效的解决方法。
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