【摘 要】
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对ＺｎＳｎＯ３气敏元件特性的测试结果表明，元件灵敏度随加热电压的变化而变化．当加热电压小于某一特定值ＶＨ０时，灵敏度不变；当加热电压大于３倍ＶＨ０时，灵敏度降低，元件失效。通过Ｘ射线衍射和ＳＥＭ二次电子能谱
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对ＺｎＳｎＯ３气敏元件特性的测试结果表明，元件灵敏度随加热电压的变化而变化．当加热电压小于某一特定值ＶＨ０时，灵敏度不变；当加热电压大于３倍ＶＨ０时，灵敏度降低，元件失效。通过Ｘ射线衍射和ＳＥＭ二次电子能谱等检测实验，找出了气敏元件灵敏度降低的原因．
The test results of the characteristics of ZnSnO3 gas sensor show that the sensitivity of the device changes with the heating voltage. When the heating voltage is less than a certain value of VH0, the sensitivity does not change; when the heating voltage is greater than 3 times VH0, the sensitivity decreases, the device failure. By X-ray diffraction and SEM secondary electron spectroscopy and other tests to find out the sensitivity of the gas sensor to reduce the reasons.
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