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溶胶-凝胶法制备的光学薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景。通过对整个化学法镀膜过程的分析，发现溶胶中胶体颗粒粒径的大小决定胶体颗粒之间的搭接，从而直接决定着所镀薄膜表面形貌和平整度。采用激光粒度仪对氧化锆溶胶的颗粒特性进行了为期28天的观测，发现氧化锆胶体平均粒径保持在10nm左右，有逐渐增大的趋势，溶胶保存时间在20天以内较为适合镀膜。用原子力显微镜观测薄膜的表面相貌，所镀薄膜均匀，平整度小于5nm。可见采用激光粒度仪对溶胶颗粒粒径变化进行监控，能有效提高所镀薄膜的成膜特性，对溶胶镀膜的大规模生