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来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
用Auger电子能谱(AES)对X光激光实验使用的Nd薄膜靶的表面氧化进行了分析,结合Ar离子束刻蚀进行元素的深度分布剖析,得到了表面氧化层厚度,所得结果与Ruther-ford背散射(RBS)方法测量的结果相吻合。实验表明,样品
【作 者】
:
赖珍荃
陈建荣
杜保旗
陈玲燕
王珏
【机 构】
:
同济大学物理系,南昌大学物理系
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
1997年02期
【关键词】
:
Nd
电子能谱
深度分布
背散射
离子束刻蚀
台阶仪
射频磁控溅射
直流溅射
非辐射跃迁
大学物理
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