【摘 要】
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本文从气体流量与流速的关系,大流速有利于改善外延层均匀性,大流速外延沉积的机理,沉积速度、气体速度与基座长度的关系,反应气体浓度、流速与基座长度的关系方面,论述了气
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本文从气体流量与流速的关系,大流速有利于改善外延层均匀性,大流速外延沉积的机理,沉积速度、气体速度与基座长度的关系,反应气体浓度、流速与基座长度的关系方面,论述了气体流速对外延层均匀性的影响。
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