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介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理，运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论分析，并运用Matlab进行了仿真实验。
基于波动光学的光针式位移传感器的光学模型分析
【摘 要】
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介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理，运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论分析，并运用Matlab进行了仿真实验。
【机 构】
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湖北汽车工业学院
【出 处】
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湖北汽车工业学院学报
【发表日期】
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2008年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50745020）,湖北省教育厅重点项目（D20082301）
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