论文部分内容阅读
用热丝CVD法，以丙酮和氢气为碳源，在WC-Co硬质合金衬底上沉积金刚石薄膜，在分析了工艺条件（衬底温度、碳源浓度、反应压力）对金刚石薄膜性能的影响的基础上，提出了分步沉积法改善金刚石薄膜涂层刀具性能的新工艺。结果表明，合理控制工艺条件的新工艺对涂层薄膜质量、形貌和粗糙度、薄膜与衬底间的附着力、刀具的耐用度及切削性能有显著影响，对获取实用化的在硬质合金刀具基体上沉积高附着强度、低粗糙度金刚石薄膜的新技术具有重要的意义。