目标软件迎接MEMS设计的挑战

来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wsttkl

【摘要】

：

在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算

【作者】

：

于立亭

【出处】

：

光机电信息

【发表日期】

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2002年11期

【关键词】

：

光学微机系统 CAD EDA 设计方法

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在开发各种光学微机电系统(MEMS)的竞争中,恰当选择专门为MEMS设计而开发的软件工具能极大地获益,如节省时间、扩大市场、降低开发费用和降低风险等.光学MEMS可用标准的计算机辅助机械设计(MCAD)方法或者用电子设计自动化(EDA)工具进行设计,但MEMS的特殊性,诸如多物理范畴、加工工艺和标定等对当今现有技术提出了严峻的挑战.所以,支持自顶向下设计的软件在快速、精确地MEMS开发中会起关键作用.

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