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介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系统具有较高的准确性和实用性。
自动集中监控系统在集成电路生产线中的应用
【摘 要】
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介绍了自动集中监控系统(AMS)的主要架构、系统特点、监控设备类型和系统组成,通过多种监控分析图表,实现从不同视角监控生产过程状态,并分析了监测结果,证明了该设备监控系
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备有限公司
【出 处】
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中国高新科技
【发表日期】
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2020年3期
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