极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响

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使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差△φ=00和Δφ=180°)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响.同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响.实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性.圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W).
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