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提出一种采用聚碳酸酯核孔膜为模版来制作高深宽比聚二甲基硅氧烷微悬臂梁矩阵的新方法，用来作为生物微机电系统传感器探测细胞微纳力学及在体外研究细胞的机械特性，并对其制作工艺进行研究。通过选择不同的膜，可以便捷制作不同规格的微悬臂梁矩阵来满足不同精度的测量需求。细胞贴附在经表面处理后的微悬臂梁矩阵顶端生长并延展迁移，造成微悬臂梁弯曲形变。通过对形变共焦荧光显微图像处理，可以精确描绘出细胞牵引力分布。实验结果表明该制作方法有效，测量精度达到nN／μm。