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采用密度泛函(DFT)及二级微扰理论(MP2)对六甲基二硅烷的催化裂解过程进行了计算。结果显示,该反应分三步进行,各步的能垒分别为144.9、77.4及214.9kJ·mol^-1,决定反应速度的是第三步。总反应是放热的,其中各步的焓变分别为22.4、-237.6、-127.6kJ·mol^-1,反应的标准吉布斯自由能变为-348.7kJ·mol^-1,平衡常数为1.221×10^61,在常温及常压下有较大的裂解倾向,理论产率比较高,计算结果与实验结果一致。