【摘 要】
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研究了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法技术制备的超微粒子复合薄膜的电学性质及气敏性质，并对其作用机理进行了分析解释．
The electrical and gas-sensitive properties of
【机 构】
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淮北煤炭师范学院物理系,淮北煤炭师范学院物理系,淮北煤炭师范学院物理系,华东理工大学物理系
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研究了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法技术制备的超微粒子复合薄膜的电学性质及气敏性质，并对其作用机理进行了分析解释．
The electrical and gas-sensitive properties of the ultrafine particle composite films prepared by reactive gas deposition and reactive gas deposition were investigated. The mechanism of action was also explained and explained.
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