【摘 要】
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本文采用物理气相沉积的方法在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上制备了TiAlN涂层。重点研究了金属陶瓷基体晶粒尺寸对涂层微观结构、生长行为、力学性能、结合强度和磨损行为的影响。
【机 构】
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SchoolofManufacturingScienceandEngineering,SchoolofMaterialsScienceandEngineering
【基金项目】
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Projects(51634006,51575368)supported by the National Natural Science Foundation of China,Project(2017GZ0041)supported by Science and Technology Support Program of Sichuan Province,China
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本文采用物理气相沉积的方法在Ti(C,N)基金属陶瓷基体上制备了TiAlN涂层。重点研究了金属陶瓷基体晶粒尺寸对涂层微观结构、生长行为、力学性能、结合强度和磨损行为的影响。结果表明,Ti(C,N)晶粒越细,涂层的形核密度越高,生长速率越低,因此TiAlN涂层的晶粒尺寸随着Ti(C,N)晶粒尺寸的减小而减小。纳米压痕实验表明,在晶粒尺寸最小的金属陶瓷基体上沉积的涂层硬度(H)和弹性模量(E)最高,分别为34.5 GPa和433.2 GPa,H/E和H3/E2比值为0.080和0.22。划痕实验表明,随着Ti
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