【摘 要】
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一、引言利用针阀进气的抽速测试罩广泛用于扩散泵抽速测试。国际标准化组织(ISO)曾推荐过一种罩径与被测泵径相等的测试罩[见ISO/TC 112(Secretariat—8)8],为平顶(如图1虚
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一、引言利用针阀进气的抽速测试罩广泛用于扩散泵抽速测试。国际标准化组织(ISO)曾推荐过一种罩径与被测泵径相等的测试罩[见ISO/TC 112(Secretariat—8)8],为平顶(如图1虚线).我国第一机械工业部于1975年7月1日颁布了部标准“真空油扩散泵、油坛压泵性能试验方法”JB922—75。其测试罩为斜顶(见图1),来源于美国真空协会(AVS)1956年推荐的扩散泵抽速测试标准.
I. INTRODUCTION The pumping speed test cover using needle valve inlet air is widely used in the pumping speed test of diffusion pump. The International Organization for Standardization (ISO) has recommended a test mask with a bore diameter equal to the diameter of the pump under test [see ISO / TC 112 (Secretariat-8) 8] Ministry of Industry on July 1, 1975 promulgated the ministerial standard “vacuum oil diffusion pump, oil pressure pump performance test method” JB922-75. The test cover is a sloping top (see Figure 1), derived from the diffusion pump pumping speed test recommended by the American Vacuum Association (AVS) in 1956.
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