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引言:MEMS低频水声电容传感器,主要被应用到低频水声的信号探测领域当中,为了更好地适应水下工作环境,需要对其进行优化与仿真设计。本文首先对MEMS低频水声电容传感器的设计方案进行了研究,同时对MEMS低频水声电容传感器进行了理论性分析;其次,对MEMS低频水声电容传感器进行了仿真分析,提出了多种优化设计方案,希望能为该领域关注者提供有益参考。