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本文提出一种薄膜厚度自动测量的新方法，文中介绍了它的工作原理，给出了实测数据．实验表明，这种方法具有测量准确度高和效率高的特点．
薄膜厚度的自动检测
【摘 要】
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本文提出一种薄膜厚度自动测量的新方法，文中介绍了它的工作原理，给出了实测数据．实验表明，这种方法具有测量准确度高和效率高的特点．
【机 构】
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北京轻工业学院
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年3期
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