【摘 要】
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本文报告了对硅片抛光条件多方面的试验分析,总结出了硅片精抛的较佳条件;最后对SiO_2系抛光机理进行了探讨.
This paper reports on the various aspects of wafer polishi
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本文报告了对硅片抛光条件多方面的试验分析,总结出了硅片精抛的较佳条件;最后对SiO_2系抛光机理进行了探讨.
This paper reports on the various aspects of wafer polishing conditions analysis, summarizes the better conditions of wafer polishing; Finally, the polishing mechanism of SiO_2 system is discussed.
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