【摘 要】
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鉴于铟锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)薄膜电加温玻璃在外观、力学,光学性能的特殊要求,激光刻蚀技术能否成功应用于该领域成为探讨的问题.本文通过激光器在不同工作功率和刻蚀速度下刻蚀ITO薄膜所达到的刻蚀效果开展研究,探索激光刻蚀工艺,并通过测试比对刻蚀前后玻璃的力学、光学特性变化,分析激光刻蚀对玻璃的影响。实验结果表明:选用ITO薄膜厚度650nm镀膜玻璃做为实验样件,选用波长1
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院 北京市 100024 武汉楚天工业激光设备有限公司 武汉市 430074
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鉴于铟锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)薄膜电加温玻璃在外观、力学,光学性能的特殊要求,激光刻蚀技术能否成功应用于该领域成为探讨的问题.本文通过激光器在不同工作功率和刻蚀速度下刻蚀ITO薄膜所达到的刻蚀效果开展研究,探索激光刻蚀工艺,并通过测试比对刻蚀前后玻璃的力学、光学特性变化,分析激光刻蚀对玻璃的影响。实验结果表明:选用ITO薄膜厚度650nm镀膜玻璃做为实验样件,选用波长1064纳米的激光器做为实验设备,当激光器工作功率为750mW,刻蚀速度为500mm/s时,薄膜被完全刻蚀,且衬底玻璃未受到损伤;经检测,刻蚀后玻璃的抗弯曲强度仅衰减7％,抗冲击强度和透光度均无变化.因此激光刻蚀技术可实际应用于电加温玻璃的薄膜刻蚀.
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