透射电镜真空系统的自动应急处理方法及其实现

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透射电镜的某些故障可能会影响真空系统的正常运行,甚至导致某些真空部件的损坏。基于实际应用需求研究了真空系统的自动应急处理方法。通过分析透射电镜及其真空系统的故障种类和模式,将故障按其危害严重程度进行分级。针对不同等级的故障采取不同的应对措施,并确定应急操作方法,以及故障处理完毕后重新启动真空系统的流程。采用自动触发方法实现真空控制系统的自动报警、自动应急处理响应,以确保透射电镜正常运行。通过实际应用表明,真空控制系统的自动应急处理措施是有效的,基于自动触发的故障处理方法能够满足系统对故障的应急处理要求。
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