【摘 要】
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本文叙述了国外超精密加工和微细加工的现状和发展概况,介绍了金刚石刀具的几何角度、切削用量和机床精度以及离子束加工、超高频离子溅射加工、电子束加工和弹性反射加工等
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本文叙述了国外超精密加工和微细加工的现状和发展概况,介绍了金刚石刀具的几何角度、切削用量和机床精度以及离子束加工、超高频离子溅射加工、电子束加工和弹性反射加工等方法。表3。
This paper describes the status quo and development of ultra-precision machining and microfabrication in foreign countries, and introduces the geometrical angle of diamond cutting tools, cutting amount and machine precision as well as ion beam processing, ultra-high frequency ion sputtering processing, electron beam processing and elastic reflection processing method. table 3.
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