【摘 要】
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本文讨论了连续CVD Nb_3Sn层沉积速率与生产速率或带速之间的关系。研究了一定工艺条件下连续CVD层厚与沉积时间的线性生长关系和过渡层厚形成的抛物线规律与Nb_3Sn层生长的
【机 构】
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长沙矿冶研究院,长沙矿冶研究院,长沙矿冶研究院
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本文讨论了连续CVD Nb_3Sn层沉积速率与生产速率或带速之间的关系。研究了一定工艺条件下连续CVD层厚与沉积时间的线性生长关系和过渡层厚形成的抛物线规律与Nb_3Sn层生长的特征。
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