【摘 要】
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通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器,分析了多种传感器的利弊,选择压阻式加速度传感器作为研究对象。创建该加速度传感器结构的力学
【机 构】
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太原理工大学物理与光电工程学院,中国电子科技集团公司第二研究所
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通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器,分析了多种传感器的利弊,选择压阻式加速度传感器作为研究对象。创建该加速度传感器结构的力学模型,然后在模型上分析其结构的应力、频率及阻尼进行分析,完成结构参数的优化及确定。在ANSYS环境下,通过对结构的静态和模态仿真分析了该传感器的测量范围、安全系数、抗过载性能、频率响应及响应时间,确保该结构在20万克过载环境下可以安全可靠的工作。同时,根据静态应力仿真结果进行压敏电阻位置及结构参数的优化[1]。
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