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对热气动式微泵进行了热分析，得到了泵室压力与温度场的关系。针对液滴型微PCR芯片中液滴往复运动的需要，在微泵中引入了热电制冷，通过分析，确定热电制冷片应该放置于导热系数较小的玻璃侧和温度应控制在10℃．分析表明，为了实现迅速增压，保持压力稳定，较快降压三阶段的要求，加热过程可设置为，高功率加热一段很短的时间，然后低功率加热持续一段时间，最后停止加热。