光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算(英文)

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分无镀膜 (或镀膜很薄 )和有较厚镀膜两种情况 ,对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算 .针对有较厚镀膜的硅微谐振器 ,在理论分析的基础上 ,提出了一种新的光激振幅计算模型 ,理论计算与实验测试值吻合得很好 . Based on the theoretical analysis, the optical excitation amplitude of the silicon microresonator was analyzed and calculated in terms of the uncoated (or thinly coated) and the thicker plated film.According to the theoretical analysis, A new model of optical excitation amplitude is proposed. The theoretical calculation is in good agreement with the experimental values.
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