液相外延生长的理论计算

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本文用单向扩散流导出了离解系数和分子扩散速度的参量表达,用界面竞争分凝模型导出了平衡分凝系数和界面分凝系数与绝对分凝系数的关系;用扩散分凝控制模型讨论了具有赝二元结构的三元系的液相外延生长,得到了过冷生长的有效分凝系数、生长速度和生长厚度的表达式,从而得出根式冷却具有均匀的生长速度。 In this paper, the parameter expression of dissociation coefficient and molecular diffusion velocity is deduced by using one-way diffusion flow. The relationship between the equilibrium segregation coefficient and the interface segregation coefficient and the absolute segregation coefficient is deduced by the interface competition segregation model. The liquid-phase epitaxial growth of the ternary system with pseudobinary structure obtained the expression of effective segregation coefficient, growth rate and growth thickness of the supercooled growth. The results showed that the root cooling had a uniform growth rate.
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