【摘 要】
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当物理学家探测和控制尺度越来越小的现象时 ,对极紫外 (1 0～ 1 0 0 nm)和软 X射线(1～ 30 nm)光谱区相干辐射源的要求便越来越大。例如半导体工业正在竭力研究极紫外光源 ,用这
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当物理学家探测和控制尺度越来越小的现象时 ,对极紫外 (1 0～ 1 0 0 nm)和软 X射线(1～ 30 nm)光谱区相干辐射源的要求便越来越大。例如半导体工业正在竭力研究极紫外光源 ,用这种光源能产生超过光学光刻极限的线宽。飞秒化学能从这些光源受益 ,因为这些光源能产生波长非常短?
As physicists detect and control smaller and smaller scales, the requirements for coherent radiation sources in the EUV (10 to 100 nm) and soft X-ray (1 to 30 nm) regions of the spectrum increase . For example, the semiconductor industry is working hard to study extreme ultraviolet light sources that can produce linewidths that exceed the limits of optical lithography. Femtosecond chemistry can benefit from these light sources, because these light sources can produce very short wavelengths?
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