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针对分切TFT-LCD玻璃的工艺要求及技术难点,提出了一次对位、对刀切割、台板裂片的工艺方法,并研究了刀轮的选择原则、刀轮角度对切割裂纹的影响,给出了切割压力、切割深度、切割速度等工艺参数的设置方法.
TFT-LCD玻璃的对刀切割工艺及关键技术
【摘 要】
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针对分切TFT-LCD玻璃的工艺要求及技术难点,提出了一次对位、对刀切割、台板裂片的工艺方法,并研究了刀轮的选择原则、刀轮角度对切割裂纹的影响,给出了切割压力、切割深度、切割速度等工艺参数的设置方法.
【机 构】
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中电科风华信息装备股份有限公司,山西 太原 030024
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2021年6期
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