【摘 要】
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我们以掺Fe的高阻InP作衬底材料,在国产MBE-Ⅲ型设备上,采用调制掺杂技术,成功地生长出了p型ZnTe:Sb-ZnSe应变层超晶格材料。室温霍耳效应测量表明:载流子浓度为10~(14)/cm~3
【机 构】
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中国科学院上海光机所 上海 201800
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我们以掺Fe的高阻InP作衬底材料,在国产MBE-Ⅲ型设备上,采用调制掺杂技术,成功地生长出了p型ZnTe:Sb-ZnSe应变层超晶格材料。室温霍耳效应测量表明:载流子浓度为10~(14)/cm~3量级,迁移率为250cm~2/V·s。俄歇谱分析清楚表明,仅在ZnTe层中Sb原子存在,且界面比较分明,调制掺杂已获初步成功。
We use Fe-doped high-resistance InP as the substrate material, and the p-type ZnTe: Sb-ZnSe strained superlattice material has been successfully grown on the domestic MBE-Ⅲ type using modulation doping technology. The measurement of Hall effect at room temperature shows that the carrier concentration is on the order of 10 ~ (14) / cm ~ 3 and the mobility is 250cm ~ 2 / V · s. Auger spectroscopy analysis clearly shows that only Sb atoms exist in the ZnTe layer, and the interface is relatively clear, and modulation doping has been initially successful.
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