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本文研究了以酸作为浸取剂浸取除铁提纯硅片切割副产物的工艺过程。通过研究酸的浓度、液固比、反应温度、反应时间对除铁效率的影响，提出了较合适的提纯工艺参数。结果表明：当酸的浓度为3．0mol／L、液固比为2：1、反应温度60℃、反应时间50min时有较好的除铁效果。在最佳实验条件下，除铁率达到98．15％。该工艺为后续提纯碳化硅提供技术保障。