【摘 要】
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采用射频磁控溅射方法制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,研究了气体流量对薄膜晶体质量及光电性能的影响。测试结果表明,当氩气流量为70 m L/min时制备的薄膜结晶较好,方块电阻为8.25Ω
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十八研究所重点实验室
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采用射频磁控溅射方法制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,研究了气体流量对薄膜晶体质量及光电性能的影响。测试结果表明,当氩气流量为70 m L/min时制备的薄膜结晶较好,方块电阻为8.25Ω/□,电阻率为4.46×10-4Ω·cm,玻璃基底上可见光范围内的平均透过率为83.56%,综合性能最优,可用于CIGS薄膜太阳电池。采用光谱椭偏仪研究薄膜的光学特性,通过建模计算得到350~800 nm波段内AZO薄膜的光学常数,并通过作图法计算得到薄膜的光学禁带宽度为3.38 e V。
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