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本文制备出（110）峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO：B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术。研究表明,绒面结构ZnO：B薄膜具有“类金字塔”晶粒形状;处理前后ZnO：B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大。适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池。