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微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如试样加工、夹持和对中等方法.并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理.
微型材料的拉伸测试方法研究
【摘 要】
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微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如
【机 构】
：
中国科学院力学研究所,香港科技大学机械工程系
【出 处】
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机械强度
【发表日期】
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2001年4期
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