【摘 要】
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CVD金刚石涂层表面粗糙度高、颗粒大,不能满足精密和超精密加工的要求,在一定程度上制约了其发展和应用,降低CVD金刚石涂层表面粗糙度是迫切需要解决的难题。阐述了激光抛光CVD金刚石涂层机理,对比了微观抛光和宏观抛光的差异,总结了国内外激光抛光金刚石涂层研究进展,探讨了目前激光抛光金刚石涂层的挑战和亟待解决的难点。
【基金项目】
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安徽省自然科学基金项目(1208085ME63,1908085ME129),安徽省教育厅自然科学基金项目(KJ2015A050,KJ2015A013)资助。
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CVD金刚石涂层表面粗糙度高、颗粒大,不能满足精密和超精密加工的要求,在一定程度上制约了其发展和应用,降低CVD金刚石涂层表面粗糙度是迫切需要解决的难题。阐述了激光抛光CVD金刚石涂层机理,对比了微观抛光和宏观抛光的差异,总结了国内外激光抛光金刚石涂层研究进展,探讨了目前激光抛光金刚石涂层的挑战和亟待解决的难点。
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