【摘 要】
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本文借助于根据结终端技术的解析理论开发的分析程序ANAPI,对单区与多区JTE进行了场分析及优化设计,给出了具有JTE结构的pn结沿冶金结和沿表面的二维电场分布,并用国际上通行
【机 构】
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电子科技大学微电子所,电子科技大学微电子所,电子科技大学微电子所 成都 610054,成都 610054,成都 610054
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本文借助于根据结终端技术的解析理论开发的分析程序ANAPI,对单区与多区JTE进行了场分析及优化设计,给出了具有JTE结构的pn结沿冶金结和沿表面的二维电场分布,并用国际上通行的PISCES-Ⅱ程序进行了验证。实验发现:在浅结情形下,优化的三区JTE结也能达到理想击穿的91％,近似优化VLD的效果。
In this paper, field analysis and optimization design of single-zone and multi-zone JTE are carried out with the help of ANAPI, an analytical program based on the analytical theory of junction termination. The two-dimensional electric field along the metallurgical junction and along the surface of a pn junction with a JTE structure is given. Distribution, and with internationally accepted PISCES-Ⅱ program was verified. The experimental results show that the optimal three-zone JTE junction can reach 91% of the ideal breakdown in the shallow junction case, and the effect of VLD optimization is approximately similar.
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