【摘 要】
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研制成功了一台计算机控制系统 ,用来改进用于纳米复合薄膜制备的离子束辅助沉积技术。计算机、石英晶体振荡器和模糊控制器使系统可以准确地调节沉积速率 ,提高生产效率 ,确
【机 构】
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研制成功了一台计算机控制系统 ,用来改进用于纳米复合薄膜制备的离子束辅助沉积技术。计算机、石英晶体振荡器和模糊控制器使系统可以准确地调节沉积速率 ,提高生产效率 ,确保各种纳米复合薄膜如多层和纳米晶薄膜的质量
A computerized control system was developed to improve ion beam assisted deposition techniques for the preparation of nanocomposite films. Computers, Quartz Crystal Oscillators and Fuzzy Controllers allow the system to accurately adjust the deposition rate, increase production efficiency, and ensure the quality of various nanocomposite films such as multilayer and nanocrystalline films
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