【摘 要】
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本文主要讨论影响薄膜真空计精度的几个主要方面:装配、焊接、绝缘与温度。同时介绍了校准和应用情况。
This article focuses on several major aspects that affect the a
【机 构】
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上海市通用机械技术研究所,上海市通用机械技术研究所,上海市通用机械技术研究所,
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本文主要讨论影响薄膜真空计精度的几个主要方面:装配、焊接、绝缘与温度。同时介绍了校准和应用情况。
This article focuses on several major aspects that affect the accuracy of a thin film vacuum gauge: assembly, welding, insulation and temperature. At the same time introduced the calibration and application.
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