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【摘 要】
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一、前言 SiO_2乳胶扩散源的出现,开辟了氧化扩散工艺的新领域,由于它具有一般固态,液态源扩散所没有的一系列优点,可以它的出现引起人们的重视,目前它已成为一种有希望的扩
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1978年03期
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