【摘 要】
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氮杂质在微氮直拉硅单晶中引入了不同于热施主（ＴＤ）和新施主（ＴＮＤ）的氮关施主（ＮＲＤ）（ｎｉｔｒｏｇｅｎ－ｒｅｌａｔｅｄｄｏｎｏｒ）．其形成于５００～９００℃，６００℃左右最为活跃．短时间热处理时，ＮＲＤ的形成与消除具有可回复性，并与氮—氮对的可逆变化──对应．随热处理
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氮杂质在微氮直拉硅单晶中引入了不同于热施主（ＴＤ）和新施主（ＴＮＤ）的氮关施主（ＮＲＤ）（ｎｉｔｒｏｇｅｎ－ｒｅｌａｔｅｄｄｏｎｏｒ）．其形成于５００～９００℃，６００℃左右最为活跃．短时间热处理时，ＮＲＤ的形成与消除具有可回复性，并与氮—氮对的可逆变化──对应．随热处理时间的延长，可逆行为逐渐消失．硅中的氮最终固化于稳定的微沉淀态．
Nitrogen Implants Nitrogen-related donors (NRDs), different from thermal donors (TDs) and new donors (TNDs), have been introduced into micro-Czochralski silicon single crystals. The formation of 500 ~ 900 ℃, 600 ℃ is the most active. The formation and elimination of NRD is reproducible in a short time of heat treatment and corresponds to the reversible change of nitrogen-nitrogen pair. With the extension of heat treatment time, reversible behavior gradually disappear. The nitrogen in silicon eventually cures to a stable microprecipitate.
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