【摘 要】
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本文论述了电子束曝光机中工件台系统影响电子束作图精度的几个主要因素。具体说明为解决这些问题所采取的措施及达到的结果。
This article discusses several main factor
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本文论述了电子束曝光机中工件台系统影响电子束作图精度的几个主要因素。具体说明为解决这些问题所采取的措施及达到的结果。
This article discusses several main factors that affect the electron beam mapping accuracy of the workpiece stage system in electron beam lithography. Describe in detail the measures taken to address these problems and the results achieved.
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