【摘 要】
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本文报道了用含永久磁铁的大型圆柱磁控溅射镀膜机,一次镀三十支太阳能集热管的工艺研究结果。 用铜、1Cr18Ni9Ti不锈钢和乙炔气体等材料,经直流反应和非反应溅射,在玻璃管上
【机 构】
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辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所,辽宁省环境保护科学研究所
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本文报道了用含永久磁铁的大型圆柱磁控溅射镀膜机,一次镀三十支太阳能集热管的工艺研究结果。 用铜、1Cr18Ni9Ti不锈钢和乙炔气体等材料,经直流反应和非反应溅射,在玻璃管上镀制了不锈钢-碳/铜选择性涂层,其吸收率α_s=0.92-0.94,法向发射率ε_n=0.07-0.08。 集热管在沈阳地区经室外阳光曝晒一年,夏季闷晒温度高达222℃;在室内用电热棒加热,温度300℃,时间8770小时,然后又在350℃下加热1000小时,结果涂层性能都没有劣化。
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