用油封机械泵获得10~(-5)帕压强

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1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和离子泵的前级抽气和粗抽。这里所说的极限压强是指在吸附阱前方测得的总压强。 1. Introduction It is generally accepted that a double-stage, oil-sealed, mechanical pump with a conventional trap can achieve ultimate pressures below 10 -3 Pa under ideal conditions. Such pumps are often used as diffusion pumps, turbomolecular pump and ion pump before the first stage of pumping and rough pumping. The ultimate pressure here is the total pressure measured in front of the sorption trap.
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