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随着IC产业日新月异的发展,IC产品的生产工艺也日益复杂化,如何做好这复杂工艺过程的SPC管理是一个非常值得探究的问题。文章以实际数据为例,用不同方法对IC生产中关键参数的SPC管理方法包括控制图的选用、控制界限及过程能力指数的计算方法等进行了分析和探究。
IC生产中关键参数SPC管理方法的探究
【摘 要】
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随着IC产业日新月异的发展,IC产品的生产工艺也日益复杂化,如何做好这复杂工艺过程的SPC管理是一个非常值得探究的问题。文章以实际数据为例,用不同方法对IC生产中关键参数的
【机 构】
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上海华虹NEC子有限公司品管部
【出 处】
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中国高新技术企业
【发表日期】
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2013年15期
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