【摘 要】
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采用溶胶 凝胶提拉法成功地制备了p型导电掺In的SnO2 薄膜 .x射线衍射测试结果表明 ,掺In的SnO2 薄膜保持SnO2 的金红石结构 .吸收谱测试结果表明 ,掺In的SnO2 禁带宽度为 3
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027,杭州310027,杭州310027
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采用溶胶 凝胶提拉法成功地制备了p型导电掺In的SnO2 薄膜 .x射线衍射测试结果表明 ,掺In的SnO2 薄膜保持SnO2 的金红石结构 .吸收谱测试结果表明 ,掺In的SnO2 禁带宽度为 3 8eV .霍尔测量结果表明 ,空穴浓度与热处理温度有很大的关系 ,5 2 5℃为最佳热处理的温度 .铟锡原子比在 0 0 5— 0 2 0范围内 ,空穴的浓度与In的含量有直接的关系 ,并随In含量的增加而增加
The p-type conductive Sn-doped SnO2 thin films were successfully prepared by sol-gel method. The X-ray diffraction results show that the SnO2 thin films doped with In maintain the rutile structure of SnO2. The absorption spectra show that the SnO2 band- Width of 38eV Hall measurements showed that the hole concentration and heat treatment temperature has a great relationship, 525 ℃ for the best heat treatment temperature indium tin atom ratio in the range of 0 0 5- 0 2 0, empty The concentration of the hole has a direct relationship with the content of In, and increases with the increase of In content
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