【摘 要】
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设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关
【机 构】
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北京大学微电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室,
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设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMOS工艺,设计了整个读出电路.测试结果显示,在自检测模式下,输出对自检测电压的灵敏度是0.3 V/V.
A new type of self-test structure for a closed-loop accelerometer is designed.The principle of self-test function based on charge injection is described in detail.For the time-feedback closed-loop accelerometer, the relationship between the output of the accelerometer and the self-test voltage , And verified by Matlab / Simulink model.The whole readout circuit was designed based on 0.35μm high voltage CMOS process.The test results show that the sensitivity of the output to self-test voltage is 0.3 V / V in self-test mode.
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