【摘 要】
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前言 Ⅰ. SOS/CMOS介绍 一、S0S/CMOS的优点 二、SOS/CMOS的制造工艺 三、SOS/CMOS的缺点 四、SOS/CMOS的现状和展望 Ⅱ. BO/CMOS介绍 一、何谓BO/MOS 二、BO/MOS制造工艺
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前言 Ⅰ. SOS/CMOS介绍 一、S0S/CMOS的优点 二、SOS/CMOS的制造工艺 三、SOS/CMOS的缺点 四、SOS/CMOS的现状和展望 Ⅱ. BO/CMOS介绍 一、何谓BO/MOS 二、BO/MOS制造工艺 1、m沟增强型Si栅、BO/MOS制造程序 2、BO/MOS的关键工艺及解决办法 a. 单晶一多晶硅同步淀积问题. b. F离子注入的作用。
Preface I. Introduction of SOS / CMOS 1. The advantages of SOS / CMOS 2. The manufacturing process of SOS / CMOS 3. The disadvantages of SOS / CMOS 4. Current situation and prospect of SOS / CMOS II. Introduction of BO / CMOS 1. What is BO / MOS Second, the BO / MOS manufacturing process 1, m groove enhanced Si gate, BO / MOS manufacturing process 2, BO / MOS key processes and solutions a. Single crystal a polysilicon deposition deposition problem. .
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