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本文介绍了JK—1半自动接近接触式光刻机显微物镜的结构,以及对该显微物镜高精度对心的方法,装置、精度分析和实测结果。实测结果表明,这种对心方法能满足显微物镜的高分辩率,象质好的要求,并已达到理论设计水平。此种高精度对心方法同样能适应大数值孔径,高分辨率,更高精度显微物镜的装配和校正。
JK—1型半自动接近式光刻机显微物镜的高精度对心
【摘 要】
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本文介绍了JK—1半自动接近接触式光刻机显微物镜的结构,以及对该显微物镜高精度对心的方法,装置、精度分析和实测结果。实测结果表明,这种对心方法能满足显微物镜的高分辩率
【出 处】
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光学工程
【发表日期】
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1981年05期
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