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为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾，提出一种新型的3自由度柔性并联机构。该机构三条支链采用特殊方式与动平台相连，使整体机构结构紧凑且具有良好的力学传递性能。同时，机构采用行程大，分辨率高，便于控制的电磁驱动器作为驱动部件，保证机构在不需要引入放大机构的前提下便可获得较大的行程和较高的分辨率。使用大行程柔性铰链代替普通的球铰，降低了加工制造难度和机构刚度模型的求解难度。采用螺旋理论分析了3-P（4S）并联机构末端运动特征，结合单元刚度矩阵法和矩阵位移法推导了3-P（4S）柔性并联机构的静刚度模型，并采