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在微电子技术当中,超声键合是非常重要技术,是在复杂力学以及物理作用下的封装过程,以此使金属材料能够在毫秒以及微米当中对界面键合进行形成.在本文中,将就微电子封装超声键合机理与技术中的科学问题进行一定的研究.
微电子封装超声键合机理与技术中的科学问题
【摘 要】
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在微电子技术当中,超声键合是非常重要技术,是在复杂力学以及物理作用下的封装过程,以此使金属材料能够在毫秒以及微米当中对界面键合进行形成.在本文中,将就微电子封装超声
【机 构】
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沈阳飞达电子有限公司 辽宁沈阳 110000
【出 处】
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数码设计（上）
【发表日期】
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2018年4期
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