【摘 要】
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非传统固体加工法（等离子体化学沉淀和镀层浸蚀、离子植入等），只有在过程的诊断方法和手段有效时，才能成功地发展。受带电粒子和化学活泼粒子流作用的表面温度，是许多工艺的控制参
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非传统固体加工法（等离子体化学沉淀和镀层浸蚀、离子植入等），只有在过程的诊断方法和手段有效时，才能成功地发展。受带电粒子和化学活泼粒子流作用的表面温度，是许多工艺的控制参数之一。建立可靠的半导体晶片热测温法，是微型电路生产自动线加工时，所公认的重要问题之[
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